半外腔式激光器綜合上述兩種結構的優點，是一種比較好的激光器。氦氖激光器的輸出功率和激光頻率的穩定性容易控制，光束的單色性、相干性和方向性均好，器件壽命長，結構簡單，價格較低，在工農業生產、科研和教學等方面的應用日趨廣泛，尤其在精密計量、準直導向、流體的流速流量測量和全息照相等方面發揮著重要作用。